1. 工作介質(zhì)與有無油污染

   - 無油隔膜真空泵：

       - 工作過程中不需要使用油作為工作介質(zhì)。它是通過隔膜的往復運動來實現(xiàn)抽氣，氣體在泵內(nèi)的壓縮和傳輸是通過隔膜與泵體形成的氣室完成的。

       - 這種泵最大的優(yōu)勢就是無油污染。在使用過程中不會產(chǎn)生油蒸汽，所以對于對潔凈度要求很高的環(huán)境，如實驗室分析儀器（氣相色譜、質(zhì)譜等）、電子芯片制造、食品藥品真空包裝和真空干燥等領(lǐng)域，不會因為油的存在而污染被處理的樣品或產(chǎn)品。

   - 隔膜真空油泵：

       - 以油作為工作介質(zhì)和潤滑劑。泵內(nèi)有油循環(huán)系統(tǒng)，油在其中起到密封、潤滑和冷卻的作用。當隔膜運動時，油幫助維持氣室的密封性，同時帶走因摩擦產(chǎn)生的熱量。

       - 由于使用了油，在工作過程中存在油蒸汽泄漏的可能性。這使得它在一些對油污染敏感的環(huán)境下不適用，但在一些對清潔度要求不高的普通工業(yè)真空應用中，能夠發(fā)揮其性能優(yōu)勢。

2. 性能特點

   - 真空度和極限真空：

       - 無油隔膜真空泵：通常能夠達到較高的真空度，其極限真空可以達到很低的壓強水平。這是因為它的結(jié)構(gòu)設(shè)計使得氣體在無油的環(huán)境下能夠更有效地被壓縮和排出，而且不會因油的存在而產(chǎn)生反壓等影響真空度的因素。例如，一些高性能的無油隔膜真空泵極限真空可以達到1 - 10 mbar。

       - 隔膜真空油泵：其真空度和極限真空性能受油的影響。油的蒸氣壓會限制泵所能達到的最-低壓強，一般來說，隔膜真空油泵的極限真空度相對無油隔膜真空泵稍差一些，可能在10 - 100 mbar左右。

   - 抽氣速率和穩(wěn)定性：

       - 無油隔膜真空泵：抽氣速率相對穩(wěn)定，因為它的工作不依賴于油的循環(huán)和狀態(tài)。在長時間工作過程中，只要隔膜等部件正常工作，其抽氣速率能夠保持在一個較為穩(wěn)定的水平，能夠滿足對抽氣速度和穩(wěn)定性要求較高的應用場景，如連續(xù)的真空過濾、真空干燥等。

       - 隔膜真空油泵：抽氣速率在一定程度上會受到油的粘度、溫度等因素的影響。如果油的溫度過高或者油的粘度因使用時間等因素發(fā)生變化，可能會導致抽氣速率不穩(wěn)定。不過在正常工作狀態(tài)下，也能夠提供滿足一般工業(yè)需求的抽氣速率。

   - 耐腐蝕性和工作介質(zhì)適應性：

       - 無油隔膜真空泵：對于一些對油敏感的氣體或蒸汽（如一些化學活性氣體、有機溶劑蒸汽等）有更好的適應性，不會因為與油接觸而發(fā)生化學反應。而且由于沒有油的存在，在處理一些腐蝕性氣體時，只要隔膜材料本身具有良好的耐腐蝕性，就能夠正常工作。

       - 隔膜真空油泵：由于內(nèi)部有油，當遇到一些能夠與油發(fā)生化學反應或者溶解油的氣體時，可能會出現(xiàn)問題。例如，某些強氧化性氣體可能會氧化泵油，降低泵的性能，或者一些有機溶劑可能會稀釋泵油，影響泵的密封性和工作效率。

3. 維護保養(yǎng)

   - 無油隔膜真空泵：

       - 維護相對簡單。由于沒有油的存在，不需要定期更換泵油。主要維護工作是檢查隔膜的完整性、閥門的工作狀態(tài)以及清潔泵體內(nèi)部和外部的灰塵等。更換隔膜等部件也相對容易，成本較低。

       - 使用壽命相對較長，因為沒有油的腐蝕和因油質(zhì)變化引起的部件磨損等問題，只要正常使用和定期維護，能夠在較長時間內(nèi)保持良好的性能。

   - 隔膜真空油泵：

       - 需要定期更換泵油，以保證泵的工作性能。一般來說，根據(jù)工作強度和泵油的質(zhì)量，可能需要每隔一段時間（如幾個月到一年）更換一次泵油。同時，還需要檢查油的質(zhì)量、油位等。

       - 由于油的存在，泵體內(nèi)部部件可能會因為油的腐蝕或者油中的雜質(zhì)而出現(xiàn)磨損等問題。維護過程相對復雜，需要對泵油系統(tǒng)進行檢查和維護，而且如果泵油泄漏，還需要清理泄漏的油，以免造成安全隱患或環(huán)境污染。